带锯晶棒截断机构(精彩专利)
专利摘要:
本发明带锯截断设备,尤其是一种带锯晶棒截断机构,包括一体导向装置,一体导向装置包括机座和可夹紧锯条的导向块,机座上具有锯条通槽,机座套在锯条上,导向块安装在机座上,在机座下方设置弹簧张紧装置,所述的弹簧张紧装置包括固定板、导向轮和弹簧,固定板分别安装在机座的两侧,导向轮设在锯条背面,固定板上具有导向轮滑槽,导向轮的两轴端设置在导向轮滑槽内使导向轮沿导向轮滑槽滑动,弹簧一端与导向轮连接,一端固定在固定板上使导向轮抵紧在锯条背面。本发明能够解决锯条在切割晶棒时产生的共振过大,减轻锯条在切割过程中的受力,降低切割面的倾斜情况,能准确调节锯条的切割精度,减少斜面带来的硅片损失,且结构简单,维修方便。
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